石英部材のコストダウンに関しては、都度お客様と打ち合わせをさせて頂き、ご要望や問題点を解決し、改善してきた実績が多くあります。 日々の業務の中でお困りごとなどございましたら、是非ともお気軽にご相談ください。
   
 
   
  高温での使用時におこる、扁平・湾曲等の変形を修正します。
 
   
 
一般的な修理方法は変形した箇所を「新品の石英管」を使い付け替えることで対応してましたが、弊社は独自の技術で「変形した石英管を再利用」することで材料費が削減され、修理による大幅なコストダウンが可能です。
 
 
   
  高温での使用時におこる、劣化した部位を交換・修理いたします。
 
 
   
  高温での使用時におこる、偏平・湾曲等の変形を修正します。
   
 
   
  ▲修理前▲  

▲修理後▲

 
   
 
ネジレの修復加工
   
 
   
  ▲修理前▲  

▲修理後▲

 
 
修理コストを抑えるため、従来は溝棒を交換するしかなかった方法から弊社独自の技術により変形を直します。
 
   
 
▲修理前▲   ▲修理後▲

 

完 成
   
 
プラズマなどで劣化した部分に、同じ材質の石英を継ぎ足し加工を行う修理です。予め修理の可能な回数を決め新品購入の割合を減らしていく内容です。
   
 
   
 
<実績例>
SC-1槽、SC-2槽、QDR槽、FR槽、IPA槽など。(新規の製作実績は12inウエハ対応槽もあり)
 
 
   
  石英管の厚みを変更する事により長寿命化を目的とした改善です。
   
 
 
石英管の肉厚変更

実例:
φ16×φ20 (肉厚:2t) 

φ16×φ22 (肉厚:3t) に変更

肉厚を1.5倍にする事で、製品寿命も約1.5倍になった事例もあります。
(使用環境に左右されるので、若干の個体差はあります。)

 
   
  ノズル・ドレン部の肉厚を変える事により、強度が上がり、製品寿命を延ばす改善です。
底面部、側面部、ドレン部、ヒーター管など、壊れた部分やエッチングで消耗した部分を修復します。
   
 
 
板厚の変更

●側面・底面部の張り替え・割れの修理

板厚の変更

●ドレン部新規交換
※ドレン管・ヒーター管などのサイズ改造 
  (石英管の肉厚変更例:2t⇒3tへ)
※板厚の改造
  (板部の肉厚変更例:3t⇒4tへ厚みを増すことで長寿命化)
●ヒーター管 新規交換

   
 
   
 
上記のご提案はあくまで一例です。今まで「これは修理できるのか?」と思いながらも従来は破棄していた石英材料などがございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。ご要望に沿った提案で必ず魅力あるご提案をさせて頂きます。
 
 
   
 
未使用製品や不要になられた石英加工品を使用し、用途が異なる製品に作り変えます。
   
 
▲アウターチューブ▲
(縦型)
▲ボート受け台▲
 
▲真空チャンバー▲
 
   
 
▲ノズル先端部▲ 形状変更 ▲ノズル先端部▲
   
 
使用済みのインジェクターノズルを再活用し、先端部の形状変更を行います。
また、内径の精度を上げる事により、ガス流量のバラツキを抑えることで、製品寿命を伸ばすことも可能になります。
     
   
     
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