横型管状炉ユニット
■仕様
Ω型ハロゲンヒーターを使用した横型の加熱装置です。水冷筐体になっており、定格加熱時の表面温度が50度程度となっております。
空気を加熱するのではなく、輻射加熱（光）にてワークを加熱することで高効率で素早い昇温が可能となります。
特⾧としては、18kWと高出力であり石英炉心管内のワーク（カーボン・ウエハなど）を1000℃以上に加熱することが可能です。
Φ300の炉心管やユニットを連結することにより⾧尺にも対応しております。ご希望サイズにて設計致します。
■概要図（3レンジタイプ）
■参考データ
| 仕 様 | 1レンジ | 2レンジ | 3レンジ | |
|---|---|---|---|---|
| 炉本体 | 電気容量 | 三相 200V～18kW | 三相 200V～36kW | 三相 200V～54kW |
| 加熱温度 | 常温～1500℃ | |||
| 方 式 | 光加熱（ハロゲンヒーター） | |||
| 雰囲気 | 大気・真空（石英炉心管内） | |||
| 筐 体 | アルミ（水冷構造、発熱部金メッキ処理） | |||
| 炉心管 | 石英ガラス（又はセラミック可） | |||
| 炉サイズ | W300×D350×H320 | W500×D350×H320 | W700×D350×H320 | |
| 制御操作部 | 制御盤位置 | 架台の正面部 | ||
| 温度調整器 | デジタル設定、PID制御 | |||
| 温度センサー | Kタイプ熱電対 | |||
| 安全装置 | 過電流・漏電ブレーカー | |||
| 付帯機構 | キャスター、アジャスター | |||