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  • ヒメジ理化の石英ガラス

匠の技術と最新設備で高精度・高純度製品を供給Supply

ヒメジ理化が提供する石英ガラスは、半導体や液晶、光ファイバーなどの最先端産業をはじめ、さまざまな分野に幅広く、活用されています。
なかでもメイン事業となるのが、半導体の製造プロセスに必要な様々な石英ガラス製品です。
半導体製造工程で使用される機械、装置には耐熱性とともに化学的純度が要求されます。
私たちは条件を満たす石英ガラスの加工技術と自社開発の機械装置を最大限に活用し、近年ご要望の多い大型製品から、高精度を要求される微細加工製品、
さらには部材のみならず、半導体製造装置のユニットの設計まで、幅広く供給しています。

  • 半導体製造用石英製品

  • UVランプ

  • IRヒーター

  • 各種石英製品

石英ガラスの主な特徴Characteristic

純粋に溶融されたSiO2を主成分とする石英ガラスは純度の高さはもちろんのこと、化学的安定性、耐熱性、光の透過率など、数多くの特性を持ち合わせています。

  • 熱膨張係数が小さく、耐熱温度が高い。

    軟化点が約1700度と非常に高く、1000度程度の高温まで使用できます。また熱膨張係数が小さく、急激な温度変化にも耐えることが可能です。

  • 紫外域から赤外域までの光の透過性が優れている。

    石英ガラスは紫外線・可視光線・赤外線を良く通しますので、照明機器、光学機器の材料として使用されています。

  • 純度が高く、不純物が極めて少ない。

    石英ガラスは不純物の含有量が少ないため、高集積化が進んでいる高性能半導体の品質に影響をおよぼすことなく使用できます。