IR HEATER UV LAMP

螺旋型Spiral type

概要

(一般加熱・真空容器內加熱)
環狀加熱器,其鹵素燈加熱管彎曲成圓形,螺旋加熱器呈螺旋狀。
它加熱圓形和圓柱形的物體,環形加熱器同心地佈置,以加熱大型的盤狀物體。(CVD等)

用途

圓柱加熱
晶圓加熱
平面加熱

規格(特殊規格)環型加熱器

形 狀
電 壓(V)
功 率(W)
色 溫(K)
總長(mm)
發熱總長(mm)
■環型加熱器
環型
100V
500/R68
2,300

φ68

220
環型
440V
3,500/R173
2,600
φ173
540
環型
440V
3,700/R201
2,600
201
620
環型
440V
4,300/R229
2,600
229
720
環型
440V
4,800/R257
2,600

257

800
環型
440V
5,400/R285
2,600
285
900
環型
440V
6,000/R319
2,600
319
1,000
■螺旋型加熱器
螺旋型
100V
800W/S
2,500
φ45×1.5T
325
螺旋型
100V
1,500W/S
2,500
φ45×2.5T
465
螺旋型
200V
1,500W/S
2,500
φ65×4T
780

規格(特殊規格)螺旋型加熱器

形 狀
電壓(V)
功率(W)
色溫(K)
總長(mm)
發熱總長(mm)
直管平行
208V
3,000
2,550
255×2
385
直管平行
208V
3,190
2,550
2,550×2
365