(一般加熱・真空容器內加熱)
環狀加熱器,其鹵素燈加熱管彎曲成圓形,螺旋加熱器呈螺旋狀。
它加熱圓形和圓柱形的物體,環形加熱器同心地佈置,以加熱大型的盤狀物體。(CVD等)
圓柱加熱
晶圓加熱
平面加熱
形 狀 |
電 壓(V) |
功 率(W) |
色 溫(K) |
總長(mm) |
發熱總長(mm) |
■環型加熱器 |
|||||
環型 |
100V |
500/R68 | 2,300 |
φ68 |
220 |
環型 |
440V |
3,500/R173 |
2,600 |
φ173 |
540 |
環型 |
440V |
3,700/R201 |
2,600 |
201 |
620 |
環型 |
440V |
4,300/R229 |
2,600 |
229 |
720 |
環型 |
440V |
4,800/R257 |
2,600 |
257 |
800 |
環型 |
440V |
5,400/R285 |
2,600 |
285 |
900 |
環型 |
440V |
6,000/R319 |
2,600 |
319 |
1,000 |
■螺旋型加熱器 |
|||||
螺旋型 |
100V |
800W/S |
2,500 |
φ45×1.5T |
325 |
螺旋型 |
100V |
1,500W/S |
2,500 |
φ45×2.5T |
465 |
螺旋型 |
200V |
1,500W/S |
2,500 |
φ65×4T |
780 |
形 狀 |
電壓(V)
|
功率(W) |
色溫(K) |
總長(mm) |
發熱總長(mm) |
直管平行 |
208V |
3,000 |
2,550 |
255×2 |
385 |
直管平行 |
208V |
3,190 |
2,550 |
2,550×2 |
365 |