(一般加热・真空容器内加热)
环状加热器,其卤素灯加热管弯曲成圆形,螺旋加热器呈螺旋形。
它加热圆形和圆柱形的物体,环形加热器同心地布置,以加热大型的盘状物体。(CVD等)
圆柱加热
晶片加热
平面加热
形 狀 |
电 压(V) |
功 率(W) |
色 温(K) |
总 长(mm) |
发热长度(mm) |
■環形加熱器 |
|||||
环型 |
100V |
500/R68 | 2,300 |
φ68 |
220 |
环型 |
440V |
3,500/R173 |
2,600 |
φ173 |
540 |
环型 |
440V |
3,700/R201 |
2,600 |
201 |
620 |
环型 |
440V |
4,300/R229 |
2,600 |
229 |
720 |
环型 |
440V |
4,800/R257 |
2,600 |
257 |
800 |
環型 |
440V |
5,400/R285 |
2,600 |
285 |
900 |
环型 |
440V |
6,000/R319 |
2,600 |
319 |
1,000 |
■螺旋加热器 |
|||||
螺旋型 |
100V |
800W/S |
2,500 |
φ45×1.5T |
325 |
螺旋型 |
100V |
1,500W/S |
2,500 |
φ45×2.5T |
465 |
螺旋型 |
200V |
1,500W/S |
2,500 |
φ65×4T |
780 |
形 狀 |
电 压(V)
|
功 率(W) |
色 温(K) |
总 长(mm) |
发热长度(mm) |
直管並聯 |
208V |
3,000 |
2,550 |
255×2 |
385 |
直管並聯 |
208V |
3,190 |
2,550 |
2,550×2 |
365 |