IR HEATER UV LAMP

スパイラルタイプSpiral type

概要

（一般加熱・真空容器内加熱）
ハロゲンランプの発熱管を円形に曲げたリングヒーター、コイル状に曲げたスパイラルヒーター。
円形、円筒対象物の加熱や、大きな円盤状の対象物へリングヒーターを同心円状に配列し加熱します。(CVD他)

用途

円筒形状加熱
ウエハ加熱
面状加熱

仕様書（特殊仕様）リングヒーター

形　状
電　圧(V)
出　力(W)
色温度(K)
全長(mm)
発熱長()mm
■リングヒーター
リングタイプ
100V
 500/R68
2,300

φ68
220
リングタイプ
440V
3,500/R173
2,600
φ173
540
リングタイプ
440V
3,700/R201
2,600
201
620
リングタイプ
440V
4,300/R229
2,600
229
720
リングタイプ
440V
4,800/R257
2,600

257
800
リングタイプ
440V
5,400/R285
2,600
285
900
リングタイプ
440V
6,000/R319
2,600
319
1,000
■スパイラルヒーター
スパイラルタイプ
100V
800W/S
2,500
φ45×1.5T
325
スパイラルタイプ
100V
1,500W/S
2,500
φ45×2.5T
465
スパイラルタイプ
200V
1,500W/S
2,500
φ65×4T
780

仕様書（特殊仕様）スパイラルヒーター

形　状
電　圧(V)
出　力(W)
色温度(K)
全長(mm)
発熱長()mm
直管並列
208V
3,000
2,550
255×2
 385
直管並列
208V
3,190
2,550
2,550×2
365